SPV-60 真空プラズマ洗浄機

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SPV-60 真空プラズマ洗浄機

概要:

真空プラズマクリーナー(プラズマクリーナー),励起電源によりガスがプラズマ状態に分離されます。, 製品表面にプラズマが作用し、製品表面の汚染物質を除去します。, 表面活性を高め密着性を高めます。プラズマ洗浄は新しい技術です。, 環境を守ること, 効率的かつ安定した表面処理.

SPV-60 真空プラズマ洗浄機

P製品の特徴:

1.フレキシブルな製品配置治具, イレギュラーな製品にも対応できる

2.水平電極設計により、ソフト製品加工の要件を満たすことができます.

3.エネルギーとガスの消費量が少ない製品.

4.ボードの上げ下げに便利な方法

5.真空システムの統合, 小さな足跡

6.合理的なプラズマ反応スペース, 治療がより均一になるように

7.統合された制御システム設計により、操作がより便利になります

 

SPV-60 真空プラズマ洗浄機

産業用途:

1.携帯電話業界: TP, 中枠, 裏蓋表面クリーニング活性化

2.PCB/FPC業界: 穴あけと表面の洗浄, カバーレイ表面の粗面化と洗浄

3.半導体産業: 半導体パッケージング, カメラモジュール, LEDのパッケージング, BGAパッケージング, 4.ワイヤーボンドの前処理

5.セラミック: 梱包, 接着剤の前処理

6.粗面化エッチング: PI粗面化, PPSエッチング, 半導体シリコンチップのPN接合除去, このフィルムエッチング

7.プラスチック材料: テフロン表面活性化, ABS表面活性化, およびその他のプラスチック材料の洗浄活性化

8.ITOを塗布する前に表面をきれいにしてください

 

SPV-60 真空プラズマ洗浄機

echnical specifications

 

Power System

 

Radio-frequency power supplyMedium-frequency power supply
0~600W0~1000W
頻度13.56MHz40KHz
Vacuum system

 

Two-stage rotary vane pump (oil pump)40m3/h
Vacuum lineオールステンレス配管, 高強度真空ベローズ
材料アルミニウム合金 (カスタマイズ可能なステンレス鋼チャンバー)
厚さ25んん
Leakproofness軍用グレードの溶接シール
Internal dimension of cavity375×375×430mm(W×H×D)
電極板有効サイズ345×344mm(W×D)
利用可能なスペースの間隔22.5んん
電極板の配置横型レイアウト, 可動式抽出
ワークトレイ標準セット, 材料はオプション (アルミニウム, 金網)
Work space6 layers
ガスシステム

 

Flow range0~300SCCM
プロセスガスガス回路Standard with two channels, カスタマイズできます
制御システムSystem controlPLC
Delivery method7 インチのタッチスクリーン
その他のパラメータ

 

境界寸法900×1600×900mm(宽×高×深)
重量150KG
Device appearance colorシルバーグレー


Factory specification requirements

Factory specification requirements
Ac power specifications電源:AC380V,50/60Hz,5 行,50A
工場排気流れ:2.0 m3/分
Gas requirements for factory work流れ:1~10L/分

プレッシャー:3~7 kg/cm2

パイプ径:6×4mm

材料: PUパイプ

純度: above 99.99%

工場での圧縮空気の要件流れ:1~10L/分

プレッシャー:3~7 kg/cm2

パイプ径:8×5mm

材料: PUパイプ

露点: below -40℃

粒子>0.3μm:10個/ft3


NSonfiguration list

configuration list
番号名前説明単位数量
1亭主境界寸法:900×1600×900mm(W×H×D)パソコン1
2 Vacuum chamberアルミニウム合金真空チャンバー

Inside dimension375×375×430mm(W×H×D)

パソコン1
3励磁電源Radio-frequency power supplyMedium-frequency power supplyセット1
頻度:13.56MHz;

力 :0~600W

Automatic vacuum capacitor matcher

頻度:40KHz;

0~1000W;

 

4PLCSIEMENS,S7-200パソコン1
5タッチスクリーンVellon, 7 インチ画面, MT6071iEパソコン1
6流量計British Wawick brandパソコン2
7真空ポンプFlyover two-stage rotary vane pump (oil pump) : 40m3/hパソコン1
8Vacuum gaugeINFICON

 

パソコン1
9マニュアル

 

Operation manual of vacuum plasma cleaner SPV-60パソコン1

 

Optional table

Optional table
励磁電源Radio-frequency power supplyMedium-frequency power supply
Custom power: 頻度:13.56MHz;

力:0~1000W;

Custom automatic vacuum capacitor matching machine

頻度:40KHz,パワー:2000W

 

CERES power supply: frequency 13.56MHz

力:0~600W or 0~1000W Optional

American CERES automatic vacuum capacitor matcher

真空ポンプGermany Leibao double-stage rotary vane pump (oil pump):40m3/h
Flyover two-stage rotary vane pump (oil pump) :40m3/h

 

 

 

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