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SPV-60 真空プラズマ洗浄機
概要:
真空プラズマクリーナー(プラズマクリーナー),励起電源によりガスがプラズマ状態に分離されます。, 製品表面にプラズマが作用し、製品表面の汚染物質を除去します。, 表面活性を高め密着性を高めます。プラズマ洗浄は新しい技術です。, 環境を守ること, 効率的かつ安定した表面処理.
SPV-60 真空プラズマ洗浄機
P製品の特徴:
1.フレキシブルな製品配置治具, イレギュラーな製品にも対応できる
2.水平電極設計により、ソフト製品加工の要件を満たすことができます.
3.エネルギーとガスの消費量が少ない製品.
4.ボードの上げ下げに便利な方法
5.真空システムの統合, 小さな足跡
6.合理的なプラズマ反応スペース, 治療がより均一になるように
7.統合された制御システム設計により、操作がより便利になります
SPV-60 真空プラズマ洗浄機
私産業用途:
1.携帯電話業界: TP, 中枠, 裏蓋表面クリーニング活性化
2.PCB/FPC業界: 穴あけと表面の洗浄, カバーレイ表面の粗面化と洗浄
3.半導体産業: 半導体パッケージング, カメラモジュール, LEDのパッケージング, BGAパッケージング, 4.ワイヤーボンドの前処理
5.セラミック: 梱包, 接着剤の前処理
6.粗面化エッチング: PI粗面化, PPSエッチング, 半導体シリコンチップのPN接合除去, このフィルムエッチング
7.プラスチック材料: テフロン表面活性化, ABS表面活性化, およびその他のプラスチック材料の洗浄活性化
8.ITOを塗布する前に表面をきれいにしてください
SPV-60 真空プラズマ洗浄機
たechnical specifications
Power System
| Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply | |
力 | 0~600W | 0~1000W | |
頻度 | 13.56MHz | 40KHz | |
Vacuum system
| Two-stage rotary vane pump (oil pump) | 40m3/h | |
Vacuum line | オールステンレス配管, 高強度真空ベローズ | ||
材料 | アルミニウム合金 (カスタマイズ可能なステンレス鋼チャンバー) | ||
厚さ | 25んん | ||
Leakproofness | 軍用グレードの溶接シール | ||
Internal dimension of cavity | 375×375×430mm(W×H×D) | ||
電極板有効サイズ | 345×344mm(W×D) | ||
利用可能なスペースの間隔 | 22.5んん | ||
電極板の配置 | 横型レイアウト, 可動式抽出 | ||
ワークトレイ | 標準セット, 材料はオプション (アルミニウム, 金網) | ||
Work space | 6 layers | ||
ガスシステム
| Flow range | 0~300SCCM | |
プロセスガスガス回路 | Standard with two channels, カスタマイズできます | ||
制御システム | System control | PLC | |
Delivery method | 7 インチのタッチスクリーン | ||
その他のパラメータ
| 境界寸法 | 900×1600×900mm(宽×高×深) | |
重量 | 150KG | ||
Device appearance color | シルバーグレー |
Factory specification requirements
Factory specification requirements | |
Ac power specifications | 電源:AC380V,50/60Hz,5 行,50A |
工場排気 | 流れ:2.0 m3/分 |
Gas requirements for factory work | 流れ:1~10L/分 プレッシャー:3~7 kg/cm2 パイプ径:6×4mm 材料: PUパイプ 純度: above 99.99% |
工場での圧縮空気の要件 | 流れ:1~10L/分 プレッシャー:3~7 kg/cm2 パイプ径:8×5mm 材料: PUパイプ 露点: below -40℃ 粒子>0.3μm:10個/ft3 |
NSonfiguration list
configuration list | |||||
番号 | 名前 | 説明 | 単位 | 数量 | |
1 | 亭主 | 境界寸法:900×1600×900mm(W×H×D) | パソコン | 1 | |
2 | Vacuum chamber | アルミニウム合金真空チャンバー Inside dimension375×375×430mm(W×H×D) | パソコン | 1 | |
3 | 励磁電源 | Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply | セット | 1 |
頻度:13.56MHz; 力 :0~600W Automatic vacuum capacitor matcher | 頻度:40KHz; 0~1000W;
| ||||
4 | PLC | SIEMENS,S7-200 | パソコン | 1 | |
5 | タッチスクリーン | Vellon, 7 インチ画面, MT6071iE | パソコン | 1 | |
6 | 流量計 | British Wawick brand | パソコン | 2 | |
7 | 真空ポンプ | Flyover two-stage rotary vane pump (oil pump) : 40m3/h | パソコン | 1 | |
8 | Vacuum gauge | INFICON
| パソコン | 1 | |
9 | マニュアル
| Operation manual of vacuum plasma cleaner SPV-60 | パソコン | 1 |
Optional table
Optional table | ||
励磁電源 | Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply |
Custom power: 頻度:13.56MHz; 力:0~1000W; Custom automatic vacuum capacitor matching machine | 頻度:40KHz,パワー:2000W
| |
CERES power supply: frequency 13.56MHz; 力:0~600W or 0~1000W Optional ; American CERES automatic vacuum capacitor matcher | ||
真空ポンプ | Germany Leibao double-stage rotary vane pump (oil pump):40m3/h | |
Flyover two-stage rotary vane pump (oil pump) :40m3/h |