SPV-200 真空プラズマ洗浄機

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SPV-200 真空プラズマ洗浄機

概要:

真空プラズマクリーナー(プラズマクリーナー),励起電源によりガスがプラズマ状態に分離されます。, 製品表面にプラズマが作用し、製品表面の汚染物質を除去します。, 表面活性を高め密着性を高めます。プラズマ洗浄は新しい技術です。, 環境を守ること, 効率的かつ安定した表面処理.

 

SPV-200 真空プラズマ洗浄機

P製品の特徴:

1.フレキシブルな製品配置治具, イレギュラーな製品にも対応できる

2.水平電極設計により、ソフト製品加工の要件を満たすことができます.

3.エネルギーとガスの消費量が少ない製品.

4.ボードの上げ下げに便利な方法

5.真空システムの統合, 小さな足跡

6.合理的なプラズマ反応スペース, 治療がより均一になるように

7.統合された制御システム設計により、操作がより便利になります

 

SPV-200 真空プラズマ洗浄機

産業用途:

1.携帯電話業界: TP, 中枠, 裏蓋表面クリーニング活性化

2.PCB/FPC業界: 穴あけと表面の洗浄, カバーレイ表面の粗面化と洗浄

3.半導体産業: 半導体パッケージング, カメラモジュール, LEDのパッケージング, BGAパッケージング, 4.ワイヤーボンドの前処理

5.セラミック: 梱包, 接着剤の前処理

6.粗面化エッチング: PI粗面化, PPSエッチング, 半導体シリコンチップのPN接合除去, このフィルムエッチング

7.プラスチック材料: テフロン表面活性化, ABS表面活性化, およびその他のプラスチック材料の洗浄活性化

8.ITOを塗布する前に表面をきれいにしてください

 

SPV-200 真空プラズマ洗浄機

NS設備の仕様:

電源システム高周波電源中周波電源
パワー0~1000W0~2000W
頻度13.56MHz40KHz
真空システム· マルチセルポンプ

 

ルーツポンプ + 単段ロータリーベーンポンプ
真空ラインオールステンレス配管, 高強度真空ベローズ
· 材料

 

アルミニウム合金 (カスタマイズ可能なステンレス鋼チャンバー)
厚さ25んん
漏れ防止性軍用グレードの溶接シール
キャビティ内寸600×600×600mm(幅×高さ×奥行き)
電極板有効サイズ575×510mm(幅×奥行き)
利用可能なスペースの間隔34んん
電極板の配置横型レイアウト, 可動式抽出
ワークトレイ標準セット, 材料はオプション (アルミニウム, 金網)
作業スペース8 層
ガスシステム流量範囲0~300SCCM
プロセスガスガス回路標準2チャンネル, カスタマイズできます (アルゴン, 酸素, 窒素, 水素, 四フッ化炭素)
26℃未満をお勧めしますシステム制御PLC
配送方法7 インチのタッチスクリーン
· その他のパラメータ

境界寸法1050×1750×1050mm(幅×高さ×奥行き)
重さ350KG
デバイスの外観の色シルバーグレー

 

 

工場仕様:

工場仕様
 

AC電源仕様

 

 

電源:AC380V,50/60Hz,5ワイヤー,50A

 

工場排気

 

流れ:2.0 m3/分
 

プラント作業に必要なガス要件

 

 

流れ:1~10L/分

プレッシャー:3~7 kg/cm2

パイプ径:6×4mm

テクスチャ:PUパイプ

純度:より多い 99.99%

 

工場での圧縮空気の要件

 

 

流れ:1~10L/分

プレッシャー:3~7 kg/cm2

パイプ径:8×5mm

テクスチャ:PUパイプ

露点:-40℃以下

粒子>0.3μm:10個/ft3

 

 

2.3 NS一般的に R要件

一般的な要件
リスクの特定高圧の危険性の特定

 

 

サービス環境NDJシリーズ粘度計:15~30℃

湿度:30~70%

その他注意が必要な事項可燃性ガスがないこと, 腐食性ガス, 爆発または反応性粉塵

ガスシリンダーを修理する必要がある

 

 

構成リスト
シリアルナンバー名前説明単位
1メインエンジン境界寸法:1050×1750×1050mm

(幅×高さ×奥行き)

 

パソコン

1
2 

心から愛してください

 

アルミニウム合金真空チャンバー

 

内寸450×450×500mm

(幅×高さ×奥行き)

 

パソコン

1
3励磁電源 

高周波電源

中周波電源セット1
 

頻度:13.56MHz;

力: 0~1000W

真空コンデンサ自動整合器搭載

 

頻度:40KHz;

0~2000W;

 

4PLCシーメンス,S7-200 

パソコン

1
5 

タッチスクリーン

ウェイ・ルン・トン,7 インチ画面,MT6071iE 

パソコン

1
6流量計· イギリスのブランド「ワウィック」,アルゴン,酸素

 

パソコン2
7真空ポンプルーツポンプ (BSJ70) -251 m3/h + 単段ロータリーベーンポンプ (Laipo SV100B-100m3/h)パソコン1
8 

Vacuum gauge

· INFICON

 

 

パソコン

1
9仕様Vacuum plasma cleaning machine spv-200 operation manual 

パソコン

1

 

 

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