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SPV-200 真空プラズマ洗浄機
概要:
真空プラズマクリーナー(プラズマクリーナー),励起電源によりガスがプラズマ状態に分離されます。, 製品表面にプラズマが作用し、製品表面の汚染物質を除去します。, 表面活性を高め密着性を高めます。プラズマ洗浄は新しい技術です。, 環境を守ること, 効率的かつ安定した表面処理.
SPV-200 真空プラズマ洗浄機
P製品の特徴:
1.フレキシブルな製品配置治具, イレギュラーな製品にも対応できる
2.水平電極設計により、ソフト製品加工の要件を満たすことができます.
3.エネルギーとガスの消費量が少ない製品.
4.ボードの上げ下げに便利な方法
5.真空システムの統合, 小さな足跡
6.合理的なプラズマ反応スペース, 治療がより均一になるように
7.統合された制御システム設計により、操作がより便利になります
SPV-200 真空プラズマ洗浄機
私産業用途:
1.携帯電話業界: TP, 中枠, 裏蓋表面クリーニング活性化
2.PCB/FPC業界: 穴あけと表面の洗浄, カバーレイ表面の粗面化と洗浄
3.半導体産業: 半導体パッケージング, カメラモジュール, LEDのパッケージング, BGAパッケージング, 4.ワイヤーボンドの前処理
5.セラミック: 梱包, 接着剤の前処理
6.粗面化エッチング: PI粗面化, PPSエッチング, 半導体シリコンチップのPN接合除去, このフィルムエッチング
7.プラスチック材料: テフロン表面活性化, ABS表面活性化, およびその他のプラスチック材料の洗浄活性化
8.ITOを塗布する前に表面をきれいにしてください
SPV-200 真空プラズマ洗浄機
NS設備の仕様:
電源システム | 高周波電源 | 中周波電源 | |
パワー | 0~1000W | 0~2000W | |
頻度 | 13.56MHz | 40KHz | |
真空システム | · マルチセルポンプ
| ルーツポンプ + 単段ロータリーベーンポンプ | |
真空ライン | オールステンレス配管, 高強度真空ベローズ | ||
· 材料
| アルミニウム合金 (カスタマイズ可能なステンレス鋼チャンバー) | ||
厚さ | 25んん | ||
漏れ防止性 | 軍用グレードの溶接シール | ||
キャビティ内寸 | 600×600×600mm(幅×高さ×奥行き) | ||
電極板有効サイズ | 575×510mm(幅×奥行き) | ||
利用可能なスペースの間隔 | 34んん | ||
電極板の配置 | 横型レイアウト, 可動式抽出 | ||
ワークトレイ | 標準セット, 材料はオプション (アルミニウム, 金網) | ||
作業スペース | 8 層 | ||
ガスシステム | 流量範囲 | 0~300SCCM | |
プロセスガスガス回路 | 標準2チャンネル, カスタマイズできます (アルゴン, 酸素, 窒素, 水素, 四フッ化炭素) | ||
26℃未満をお勧めします | システム制御 | PLC | |
配送方法 | 7 インチのタッチスクリーン | ||
· その他のパラメータ
| 境界寸法 | 1050×1750×1050mm(幅×高さ×奥行き) | |
重さ | 350KG | ||
デバイスの外観の色 | シルバーグレー |
工場仕様:
工場仕様 | |
AC電源仕様
| 電源:AC380V,50/60Hz,5ワイヤー,50A |
工場排気
| 流れ:2.0 m3/分 |
プラント作業に必要なガス要件
| 流れ:1~10L/分 プレッシャー:3~7 kg/cm2 パイプ径:6×4mm テクスチャ:PUパイプ 純度:より多い 99.99% |
工場での圧縮空気の要件
| 流れ:1~10L/分 プレッシャー:3~7 kg/cm2 パイプ径:8×5mm テクスチャ:PUパイプ 露点:-40℃以下 粒子>0.3μm:10個/ft3 |
2.3 NS一般的に R要件
一般的な要件 | |
リスクの特定 | 高圧の危険性の特定
|
サービス環境 | NDJシリーズ粘度計:15~30℃ 湿度:30~70% |
その他注意が必要な事項 | 可燃性ガスがないこと, 腐食性ガス, 爆発または反応性粉塵 ガスシリンダーを修理する必要がある |
構成リスト | |||||
シリアルナンバー | 名前 | 説明 | 単位 | 量 | |
1 | メインエンジン | 境界寸法:1050×1750×1050mm (幅×高さ×奥行き) | パソコン | 1 | |
2 | 心から愛してください | アルミニウム合金真空チャンバー
内寸450×450×500mm (幅×高さ×奥行き) | パソコン | 1 | |
3 | 励磁電源 | 高周波電源 | 中周波電源 | セット | 1 |
頻度:13.56MHz; 力: 0~1000W 真空コンデンサ自動整合器搭載 | 頻度:40KHz; 0~2000W;
| ||||
4 | PLC | シーメンス,S7-200 | パソコン | 1 | |
5 | タッチスクリーン | ウェイ・ルン・トン,7 インチ画面,MT6071iE | パソコン | 1 | |
6 | 流量計 | · イギリスのブランド「ワウィック」,アルゴン,酸素
| パソコン | 2 | |
7 | 真空ポンプ | ルーツポンプ (BSJ70) -251 m3/h + 単段ロータリーベーンポンプ (Laipo SV100B-100m3/h) | パソコン | 1 | |
8 | Vacuum gauge | · INFICON
| パソコン | 1 | |
9 | 仕様 | Vacuum plasma cleaning machine spv-200 operation manual | パソコン | 1 |