SPV-20 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine

SPV-20 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine

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SPV-20 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine

Umriss:

Vakuum-Plasma-Reiniger(Plasma-Reiniger),Das Gas wird durch die Anregungsstromversorgung in den Plasmazustand getrennt, und das Plasma wirkt auf die Produktoberfläche, um die Schadstoffe auf der Produktoberfläche zu reinigen, um die Oberflächenaktivität zu verbessern und die Haftung zu verbessern. Plasmareinigung ist neu, Umweltschutz, effiziente und stabile Oberflächenbehandlung.

 

SPV-20 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine

PProduktmerkmal:

1.Produktplatzierungsvorrichtung flexibel, kann sich an unregelmäßige Produkte anpassen

2.Das horizontale Elektrodendesign kann die Anforderungen der Verarbeitung weicher Produkte erfüllen.

3.Produkte mit niedrigem Energie- und Gasverbrauch.

4.Bequeme Möglichkeit, das Board auf- und abzubauen

5.Integration von Vakuumsystemen, kleiner Fußabdruck

6.Angemessener Plasmareaktionsraum, damit die Behandlung gleichmäßiger wird

7.Das Design des integrierten Steuerungssystems macht die Bedienung bequemer

 

SPV-20 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine

ichindustrielle Anwendung:

1.Handy Industrie: TP, mittlerer Rahmen, Aktivierung der Oberflächenreinigung der Rückseite

2.PCB/FPC-Industrie: Lochbohren und Oberflächenreinigung, Vergröberung und Reinigung der Deckschichtoberfläche

3.Halbleiterindustrie: Halbleiterverpackung, Kameramodul, LED-Verpackung, BGA-Verpackung, 4.Wire Bond-Vorbehandlung

5.Keramik: Verpackung, Vorbehandlung des Leims

6.Ätzen zum Aufrauen der Oberfläche: Aufrauhen der PI-Oberfläche, PPS-Ätzung, Entfernung des PN-Übergangs eines Halbleiter-Siliziumchips, DAS ist Filmätzen

7.Plastik Materialien: Teflon-Oberflächenaktivierung, ABS-Oberflächenaktivierung, und andere Reinigungsaktivierungen für Kunststoffe

8.Reinigen Sie die Oberfläche vor dem Auftragen von ITO

 

SPV-20 Vakuum-Plasma-Reinigungsmaschine

TTechnische Daten

StromversorgungssystemHochfrequenz-Stromversorgung
Leistung0~300W
Frequenz13.56MHz
Vakuumsystem

 

 

Zweistufige Drehschieberpumpe (Ölpumpe)

 

 

16m3/Std
VakuumleitungAlle Edelstahlrohre, und hochfeste Vakuumbälge
MaterialAluminiumlegierung (anpassbare Edelstahlkammer)
Dicke25mm
Dichtheit

 

Schweißsiegel in Militärqualität
Innenmaß des Hohlraums20L.
Verfügbarer Platzabstand22.5mm
Anordnung der ElektrodenplatteHorizontales Layout, bewegliche Extraktion
ArbeitsplatteStandard-Set, Material optional (Aluminium, Maschendraht)
Gassystem

 

Durchflussbereich0~300SCCM
Prozessgas GaskreislaufStandard mit zwei Kanälen, kann angepasst werden
KontrollsystemSystems controlSPS
Versandart7 Zoll Touchscreen
The Other Parameter

 

Grenzmaß900× 1600 × 900 mm (B × H × T)
Gewicht150KG
Aussehensfarbe des GerätsSilber grau

specification requirements

Anforderungen der Werksspezifikation
WechselstromspezifikationenMinimale Auflösung:AC380V,50/60Hz,5Linien,50EIN
FabrikauspuffFluss:2.0 m³/Min
Gasanforderungen für FabrikarbeitenFluss:1~10 l/Min

Druck:3~7kg/cm²

Rohrdurchmesser:6×4mm

Material: PU-Rohr

Reinheit: Oben 99.99%

Anforderungen an die werkseitige DruckluftFluss:1~10 l/Min

Druck:3~7kg/cm²

Rohrdurchmesser:8×5mm

Material: PU-Rohr

Taupunkt: unter -40℃

Partikel>0,3μm:10Stück/ft³

 

Konfigurationsliste

Konfigurationsliste
NeinNameBeschreibungEinheitMenge
1GastgeberGrenzmaß:900× 1600 × 900 mm (B × H × T)Stk1
2 VakuumkammerVakuumkammer aus AluminiumlegierungStk1
3AnregungsstromversorgungHochfrequenz-StromversorgungSatz1
Frequenz:13.56MHz;

Leistung:0~300W

Automatischer Vakuum-Kondensator-Matcher

4SPSSIEMENS,S7-200Stk1
5Touch-ScreenSchleier, 7 Zoll Bildschirm,MT6071iEStk1
6flowmeterBritische Marke WawickStk2
7VakuumpumpeFlyover zweistufige Drehschieberpumpe (Ölpumpe):40m3/StdStk1
8vacuum gaugeINFICON

 

Stk1
9Handbuch

 

Operation manual of vacuum plasma cleaner SPV-20Stk1

 

 

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