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SPV-60真空等离子清洗机
大纲:
真空等离子清洗机(等离子清洗机),通过激发电源将气体分离成等离子体状态, 等离子作用于产品表面,清除产品表面污染物, 从而提高表面活性,增强附着力。等离子清洗是一种新型的清洗方法。, 环境保护, 高效稳定的表面处理.
SPV-60真空等离子清洗机
P产品特点:
1.产品贴装夹具灵活, 可适应不规则产品
2.卧式电极设计可满足软质产品加工要求.
3.低能源和燃气消耗产品.
4.方便地上下板
5.真空系统集成, 占地面积小
6.合理的等离子体反应空间, 让治疗更加均匀
7.一体化控制系统设计,操作更方便
SPV-60真空等离子清洗机
一世行业应用:
1.手机行业: TP, 中框, 后盖表面清洁活化
2.PCB/FPC行业: 钻孔和表面清洁, Coverlay表面粗化和清洁
3.半导体行业: 半导体封装, 摄像头模组, LED封装, BGA封装, 4.引线键合预处理
5.陶瓷: 打包, 胶水预处理
6.表面粗化蚀刻: PI表面粗化, PPS蚀刻, 半导体硅芯片PN结去除, 这种薄膜蚀刻
7.塑料材质: 特氟龙表面活化, ABS表面活化, 等塑料材质清洗活化
8.涂覆ITO前清洁表面
SPV-60真空等离子清洗机
Ť技术规格
电源系统
| 射频电源 | 中频电源 | |
功率 | 0~600W | 0~1000W | |
频率 | 13.56兆赫兹 | 40千赫 | |
真空系统
| 两级旋片泵 (油泵) | 40立方米/小时 | |
真空线 | 全不锈钢管道, 和高强度真空波纹管 | ||
一次性解决超薄膜镀膜问题 | 铝合金 (可定制的不锈钢腔体) | ||
厚度 | 25毫米 | ||
防漏性 | 军工级焊接密封 | ||
型腔内部尺寸 | 375×375×430mm(宽×高×深) | ||
电极板有效尺寸 | 345×344mm(宽×深) | ||
可用空间间距 | 22.5毫米 | ||
电极板布局 | 横向布局, 可移动提取 | ||
工作托盘 | 标准套装, 材质可选 (铝, 丝网) | ||
工作空间 | 6 层数 | ||
燃气系统
| 流量范围 | 0~300SCCM | |
工艺气体气路 | 标准配备两个通道, 可以定制 | ||
获得冷量。在高温部分和低温部分之间使用蒸发式冷凝器 | 系统控制 | 可编程逻辑控制器 | |
运输方式 | 7 英寸触摸屏 | ||
其他参数
| 外形尺寸 | 900×1600×900mm(宽×高×深) | |
重量 | 150公斤 | ||
设备外观颜色 | 银灰 |
工厂规格要求
工厂规格要求 | |
交流电源规格 | 电源供应:交流380V,50/60赫兹,5 线,50一种 |
工厂废气 | 流动:2.0 立方米/分钟 |
工厂工作用气要求 | 流动:1〜10升/分钟 压力:3〜7公斤/平方厘米 管径:6×4毫米 一次性解决超薄膜镀膜问题: 聚氨酯管材 纯度: 多于 99.99% |
工厂压缩空气要求 | 流动:1〜10升/分钟 压力:3〜7公斤/平方厘米 管径:8×5毫米 一次性解决超薄膜镀膜问题: 聚氨酯管材 露点: -40℃以下 颗粒>0.3μm:10件/立方英尺 |
C配置列表
配置清单 | |||||
没有 | 名称 | 描述 | 单元 | 数量 | |
1 | 主持人 | 外形尺寸:900×1600×900mm(W×H×D) | Pc | 1 | |
2 | Vacuum chamber | Aluminum alloy vacuum chamber Inside dimension375×375×430mm(W×H×D) | Pc | 1 | |
3 | Excitation power supply | 射频电源 | 中频电源 | Set | 1 |
频率:13.56兆赫兹; 功率 :0~600W Automatic vacuum capacitor matcher | 频率:40千赫; 0~1000W;
| ||||
4 | 可编程逻辑控制器 | SIEMENS,S7-200 | Pc | 1 | |
5 | Touch screen | Vellon, 7 inch screen, MT6071iE | Pc | 1 | |
6 | Flowmeter | British Wawick brand | Pc | 2 | |
7 | 真空泵 | Flyover two-stage rotary vane pump (油泵) : 40立方米/小时 | Pc | 1 | |
8 | Vacuum gauge | INFICON
| Pc | 1 | |
9 | 手动的
| Operation manual of vacuum plasma cleaner SPV-60 | Pc | 1 |
Optional table
Optional table | ||
Excitation power supply | 射频电源 | 中频电源 |
Custom power: 频率:13.56兆赫兹; 功率:0~1000W; Custom automatic vacuum capacitor matching machine | 频率:40千赫,力量:2000w ^
| |
CERES power supply: frequency 13.56MHz; 功率:0~600W or 0~1000W Optional ; American CERES automatic vacuum capacitor matcher | ||
真空泵 | Germany Leibao double-stage rotary vane pump (油泵):40立方米/小时 | |
Flyover two-stage rotary vane pump (油泵) :40立方米/小时 |