SPV-60真空等离子清洗机

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SPV-60真空等离子清洗机

大纲:

真空等离子清洗机(等离子清洗机),通过激发电源将气体分离成等离子体状态, 等离子作用于产品表面,清除产品表面污染物, 从而提高表面活性,增强附着力。等离子清洗是一种新型的清洗方法。, 环境保护, 高效稳定的表面处理.

SPV-60真空等离子清洗机

P产品特点:

1.产品贴装夹具灵活, 可适应不规则产品

2.卧式电极设计可满足软质产品加工要求.

3.低能源和燃气消耗产品.

4.方便地上下板

5.真空系统集成, 占地面积小

6.合理的等离子体反应空间, 让治疗更加均匀

7.一体化控制系统设计,操作更方便

 

SPV-60真空等离子清洗机

一世行业应用:

1.手机行业: TP, 中框, 后盖表面清洁活化

2.PCB/FPC行业: 钻孔和表面清洁, Coverlay表面粗化和清洁

3.半导体行业: 半导体封装, 摄像头模组, LED封装, BGA封装, 4.引线键合预处理

5.陶瓷: 打包, 胶水预处理

6.表面粗化蚀刻: PI表面粗化, PPS蚀刻, 半导体硅芯片PN结去除, 这种薄膜蚀刻

7.塑料材质: 特氟龙表面活化, ABS表面活化, 等塑料材质清洗活化

8.涂覆ITO前清洁表面

 

SPV-60真空等离子清洗机

Ť技术规格

 

电源系统

 

射频电源中频电源
功率0~600W0~1000W
频率13.56兆赫兹40千赫
真空系统

 

两级旋片泵 (油泵)40立方米/小时
真空线全不锈钢管道, 和高强度真空波纹管
一次性解决超薄膜镀膜问题铝合金 (可定制的不锈钢腔体)
厚度25毫米
防漏性军工级焊接密封
型腔内部尺寸375×375×430mm(宽×高×深)
电极板有效尺寸345×344mm(宽×深)
可用空间间距22.5毫米
电极板布局横向布局, 可移动提取
工作托盘标准套装, 材质可选 (铝, 丝网)
工作空间6 层数
燃气系统

 

流量范围0~300SCCM
工艺气体气路标准配备两个通道, 可以定制
获得冷量。在高温部分和低温部分之间使用蒸发式冷凝器系统控制可编程逻辑控制器
运输方式7 英寸触摸屏
其他参数

 

外形尺寸900×1600×900mm(宽×高×深)
重量150公斤
设备外观颜色银灰


工厂规格要求

工厂规格要求
交流电源规格电源供应:交流380V,50/60赫兹,5 线,50一种
工厂废气流动:2.0 立方米/分钟
工厂工作用气要求流动:1〜10升/分钟

压力:3〜7公斤/平方厘米

管径:6×4毫米

一次性解决超薄膜镀膜问题: 聚氨酯管材

纯度: 多于 99.99%

工厂压缩空气要求流动:1〜10升/分钟

压力:3〜7公斤/平方厘米

管径:8×5毫米

一次性解决超薄膜镀膜问题: 聚氨酯管材

露点: -40℃以下

颗粒>0.3μm:10件/立方英尺


C配置列表

配置清单
没有名称描述单元数量
1主持人外形尺寸:900×1600×900mm(W×H×D)Pc1
2 Vacuum chamberAluminum alloy vacuum chamber

Inside dimension375×375×430mm(W×H×D)

Pc1
3Excitation power supply射频电源中频电源Set1
频率:13.56兆赫兹;

功率 :0~600W

Automatic vacuum capacitor matcher

频率:40千赫;

0~1000W;

 

4可编程逻辑控制器SIEMENSS7-200Pc1
5Touch screenVellon, 7 inch screen, MT6071iEPc1
6FlowmeterBritish Wawick brandPc2
7真空泵Flyover two-stage rotary vane pump (油泵) : 40立方米/小时Pc1
8Vacuum gaugeINFICON

 

Pc1
9手动的

 

Operation manual of vacuum plasma cleaner SPV-60Pc1

 

Optional table

Optional table
Excitation power supply射频电源中频电源
Custom power: 频率:13.56兆赫兹;

功率:0~1000W;

Custom automatic vacuum capacitor matching machine

频率:40千赫,力量:2000w ^

 

CERES power supply: frequency 13.56MHz

功率:0~600W or 0~1000W Optional

American CERES automatic vacuum capacitor matcher

真空泵Germany Leibao double-stage rotary vane pump (油泵):40立方米/小时
Flyover two-stage rotary vane pump (油泵) :40立方米/小时

 

 

 

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