- คำอธิบาย
- สอบถาม
SPV-150 Vacuum plasma cleaning machine
โครงร่าง:
Vacuum Plasma Cleaner(เครื่องล้างพลาสมา),the gas is separated into plasma state through the excitation power supply, and the plasma ACTS on the product surface to clean the pollutants on the product surface, so as to improve the surface activity and enhance the adhesion.Plasma cleaning is a new, การคุ้มครองสิ่งแวดล้อม, efficient and stable surface treatment.
SPV-150 Vacuum plasma cleaning machine
ปroduct feature:
1.Product placement fixture flexible, can adapt to irregular products
2.Horizontal electrode design can meet the requirements of soft product processing.
3.Low energy and gas consumption products.
4.Convenient way to put up and down the board
5.Vacuum system integration, small footprint
6.Reasonable plasma reaction space, so that the treatment is more uniform
7.Integrated control system design makes operation more convenient
ผมndustry application:
1.Mobile phone industry: TP, middle frame, back cover surface cleaning activation
2.PCB/FPC industry: hole drilling and surface cleaning, Coverlay surface coarsening and cleaning
3.Semiconductor industry: semiconductor packaging, โมดูลกล้อง, LED packaging, BGA packaging, 4.Wire Bond pretreatment
5.เซรามิกส์: บรรจุภัณฑ์, pre-treatment of glue
6.Surface roughening etching: PI surface roughening, PPS etching, semiconductor silicon chip PN junction removal, ITO film etching
7.Plastic materials: Teflon surface activation, ABS surface activation, and other plastic material cleaning activation
8.Clean the surface before applying ITO
SPV-150 Vacuum plasma cleaning machine
NSpecification of equipment:
Power system | radio-frequency power supply | medium-frequency power supply | |
พลัง | 0~600W | 0~1000W or 0-2000W | |
ความถี่ | 13.56MHz | 40กิโลเฮิรตซ์ | |
Vacuum plant | Double-stage vane pump (oil pump) | Double stage rotary vane pump (oil pump) or Roots pump + single stage rotary vane pump | |
vacuum line | All stainless steel piping and high strength vacuum bellows | ||
texture | Aluminum alloy (customizable stainless steel cavity) | ||
ความหนา | 25มม | ||
leakproofness | Military grade welding seal | ||
Cavity internal dimensions | 500×500×670mm (width × height × depth) | ||
Effective size of electrode plate | 587×470mm(width × depth) | ||
Available space spacing | 34มม | ||
Electrode layout | Horizontal arrangement, activity extraction
| ||
Work tray | Standard one set, material optional (อลูมิเนียม, steel wire mesh) | ||
work space | 8 layer | ||
Gas system | flow range | 0~300SCCM | |
Process gas path | Standard with two, can be customized | ||
ระบบควบคุม | systems control | PLC | |
delivery method | 7 inch touch screen | ||
Other parameters | มิติขอบเขต | 1020×1720×1120mm(w×h×d) | |
น้ำหนัก | 350กิโลกรัม | ||
Equipment appearance color | silver gray |
ข้อกำหนดโรงงาน:
ข้อกำหนดโรงงาน | |
ข้อมูลจำเพาะของไฟ AC
| แหล่งจ่ายไฟ:AC380V,50/60เฮิร์ตซ์,5ลวด,50ก |
ท่อไอเสียโรงงาน
| ไหล:2.0 m³/min |
Gas requirements for plant work
| ไหล:1~10 L/min ความดัน:3~7 kg/cm² เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ:8×5mm Texture:ท่อพียู Purity:มากกว่า 99.99% |
Factory compressed air requirements
| ไหล:1~10 L/min ความดัน:3~7 kg/cm² เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ:8×5 มม Texture:PUpipe จุดน้ำค้าง:-40℃ under Particle>0.3μm:10Pcs/ft³ |
2.3 ชโดยทั่วไป Rข้อกำหนด
General requirements | |
การระบุความเสี่ยง | การระบุอันตรายจากแรงดันสูง
|
Service environment | อุณหภูมิ:15~ 30 ℃ ความชื้น:30~70% |
Other matters needing attention | ไม่มีก๊าซที่ติดไฟได้, ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน, การระเบิดหรือฝุ่นปฏิกิริยา Gas cylinders need to be fixed |
รายการการกำหนดค่า | |||||
Serial Number | ชื่อ | description | หน่วย | ปริมาณ | |
1 | เครื่องยนต์หลัก | มิติขอบเขต:1020×1720×1120mm (width × height × depth) | Pc | 1 | |
2 | Love sincerely | Aluminum alloy vacuum chamber
inside dimension 500×500×675mm (width × height × depth) | Pc | 1 | |
3 | Excitation power supply | radio-frequency power supply | edium-frequency power supply | ชุด | 1 |
ความถี่:13.56MHz; อำนาจ 0 ~ 600 ว Or 0~1000W is optional; Fully automatic vacuum capacitor matching unit | ความถี่:40กิโลเฮิรตซ์; 0~1000W or 0-2000w
| ||||
4 | PLC | Siemens,S7-200 | Pc | 1 | |
5 | Touch screen | Wei lun tong,7 inch screen,MT6071iE | Pc | 1 | |
6 | Flowmeter | British wawick brand | Pc | 2 | |
7 | ปั๊มสุญญากาศ | Flyover double-stage vane pump (oil pump):60m3/h | Pc | 1 | |
8 | Vacuum gauge | The fu kang | Pc | 1 | |
9 | ข้อมูลจำเพาะ | Vacuum plasma cleaning machine spv-150 operation manual | Pc | 1 |