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SPV-60 진공 플라즈마 세정기
개요:
진공 플라즈마 청소기(플라즈마 클리너),여기 전원 공급을 통해 가스가 플라즈마 상태로 분리됩니다., 제품 표면의 플라즈마 ACTS로 제품 표면의 오염 물질을 청소합니다., 표면 활동을 개선하고 접착력을 향상시키기 위해. 플라즈마 세척은 새로운, 환경 보호, 효율적이고 안정적인 표면 처리.
SPV-60 진공 플라즈마 세정기
NS제품 기능:
1.유연한 제품 배치 고정 장치, 불규칙한 제품에 적응할 수 있습니다
2.수평 전극 디자인은 부드러운 제품 처리 요구 사항을 충족할 수 있습니다..
3.저에너지 및 가스 소비 제품.
4.보드를 올리고 내리는 편리한 방법
5.진공 시스템 통합, 작은 발자국
6.합리적인 플라즈마 반응 공간, 치료가 더 균일하도록
7.통합 제어 시스템 설계로 작업이 더욱 편리해집니다.
SPV-60 진공 플라즈마 세정기
나는산업 응용:
1.휴대전화 산업: TP, 중간 프레임, 후면 커버 표면 청소 활성화
2.PCB/FPC 산업: 구멍 드릴링 및 표면 청소, Coverlay 표면 거칠기 및 청소
3.반도체 산업: 반도체 패키징, 카메라 모듈, LED 포장, BGA 포장, 4.와이어 본드 전처리
5.세라믹: 포장, 접착제의 전처리
6.표면 거칠기 에칭: PI 표면 거칠기, PPS 에칭, 반도체 실리콘 칩 PN 접합 제거, 이 필름 에칭
7.플라스틱 재료: 테프론 표면 활성화, ABS 표면 활성화, 및 기타 플라스틱 재료 세척 활성화
8.ITO를 적용하기 전에 표면을 청소하십시오
SPV-60 진공 플라즈마 세정기
D50,D55,D65,D75,F1,F2,F3,F4,F5,F6,F7,F8,F9,F10,F11,F12,CMFechnical specifications
| Power System
| Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply | |
| 힘 | 0~600W | 0~1000W | |
| 빈도 | 13.56MHz | 40kHz | |
| 진공 시스템
| Two-stage rotary vane pump (오일 펌프) | 40m3/h | |
| Vacuum line | All stainless steel piping, and high strength vacuum bellows | ||
| 재료 | 알루미늄 합금 (customizable stainless steel chamber) | ||
| 두께 | 25mm | ||
| Leakproofness | 군용 용접 씰 | ||
| Internal dimension of cavity | 375×375×430mm（W×H×D） | ||
| 전극판의 유효 사이즈 | 345×344mm（W×D） | ||
| 사용 가능한 공간 간격 | 22.5mm | ||
| Electrode plate layout | Horizontal layout, movable extraction | ||
| 작업 트레이 | Standard set, 재료 선택 (알류미늄, wire mesh) | ||
| Work space | 6 layers | ||
| 가스 시스템
| Flow range | 0~300SCCM | |
| Process gas gas circuit | Standard with two channels, 사용자 정의 할 수 있습니다 | ||
| 제어 시스템 | System control | PLC | |
| Delivery method | 7 인치 터치 스크린 | ||
| Other Parameter
| Boundary dimension | 900×1600×900mm（宽×高×深） | |
| 무게 | 150킬로그램 | ||
| Device appearance color | 은회색 | ||
Factory specification requirements
| Factory specification requirements | |
| Ac power specifications | 전원 공급：AC380V，50/60Hz，5 lines，50ㅏ |
| 공장 배기 | 흐름：2.0 m³/분 |
| Gas requirements for factory work | 흐름：1~10L/분 압력：3~7kg/cm² 파이프 직경：6×4 mm 재료: PU 파이프 청정: ~ 위에 99.99% |
| 공장 압축 공기 요구 사항 | 흐름：1~10L/분 압력：3~7kg/cm² 파이프 직경：8×5mm 재료: PU 파이프 이슬점: below -40℃ 입자>0.3μm：10개/피트³ |
씨onfiguration list
| configuration list | |||||
| 아니 | 이름 | 기술 | 단위 | 수량 | |
| 1 | 주인 | Boundary dimension：900×1600×900mm（W×H×D） | PC | 1 | |
| 2 | Vacuum chamber | 알루미늄 합금 진공 챔버 Inside dimension375×375×430mm（W×H×D） | PC | 1 | |
| 3 | 여자 전원 공급 장치 | Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply | 세트 | 1 |
| 빈도：13.56MHz； 힘 ：0~600W Automatic vacuum capacitor matcher | 빈도：40kHz； 0~1000W;
| ||||
| 4 | PLC | SIEMENS，S7-200 | PC | 1 | |
| 5 | 터치 스크린 | Vellon, 7 인치 스크린, MT6071iE | PC | 1 | |
| 6 | 유량계 | British Wawick brand | PC | 2 | |
| 7 | 진공 펌프 | Flyover two-stage rotary vane pump (오일 펌프) : 40m3/h | PC | 1 | |
| 8 | 진공 게이지 | INFICON
| PC | 1 | |
| 9 | 처짐 시험기
| Operation manual of vacuum plasma cleaner SPV-60 | PC | 1 | |
Optional table
| Optional table | ||
| 여자 전원 공급 장치 | Radio-frequency power supply | Medium-frequency power supply |
| Custom power: 빈도：13.56MHz； 힘：0~1000W； Custom automatic vacuum capacitor matching machine | 빈도：40kHz，힘：2000W
| |
| CERES power supply: frequency 13.56MHz； 힘：0~600W or 0~1000W Optional ； American CERES automatic vacuum capacitor matcher | ||
| 진공 펌프 | Germany Leibao double-stage rotary vane pump (오일 펌프)：40m3/h | |
| Flyover two-stage rotary vane pump (오일 펌프) ：40m3/h | ||
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